طرق وعمليات اختبار الغرفة النظيفة

يمكن تقسيم حالة اختبار الغرفة النظيفة إلى ثلاث فئات

1 ، منشآت الحالة الفارغة للغرفة النظيفة جميع خطوط الأنابيب المتصلة والجري ولكن لا توجد معدات الإنتاج والمواد وموظفي الإنتاج.

2 ، تم بناء Static في جميع مرافق الغرفة النظيفة المثبتة في معدات الإنتاج والموردين المتفق عليها من قبل مالك الطريق لاختبار المنعطف بعيدًا ، ولكن لا يوجد موظفون في الإنتاج في هذا المجال.

3 ، المرافق الديناميكية وفقًا لأحكام الطريق لتشغيل الدولة وأحكام الموظفين الحاضرين بالطريقة المحددة للعمل.

عملية اختبار الغرفة النظيفة

عندما يجب تحديد تحديد جميع الأدوات والمعدات المستخدمة أو معايرتها أو معايرتها وفقًا للوائح. قبل القياس ، يجب أن يكون النظام ، والغرفة النظيفة ، وغرفة الماكينة ، وما إلى ذلك ، عملية تنظيف شاملة وتنظيف وتعديل النظام بشكل مستمر لفترة من الوقت ، ثم اكتشاف تسرب وغيرها من عناصر القياس. الإجراء لقياس الغرفة النظيفة كما يلي.

نفخ الهواء المنفاخ ← التنظيف الداخلي ← ضبط حجم الهواء ← تركيب المرشحات الوسيطة ← تثبيت مرشحات عالية الكفاءة ← تشغيل النظام ← اكتشاف تسرب المرشحات عالية الكفاءة → تعديل حجم الهواء والرطوبة → تدفق المرحلة الواحدة في المقطع العرضي للغرفة النظيفة من متوسط ​​السرعة ، وسرعة التحديد غير المتكافئ للنظافة الداخلية → تحديد داخلي للبكتيريا العوالق البكتيرية والبكتيريا المستقرة → معدات الإنتاج المتعلقة بالعمل والتعديلات.

أساس الاختبار

بما في ذلك المواصفات والرسومات ووثائق التصميم والبيانات التقنية للمعدات. مقسمة إلى الفئتين التاليتين:

1 ، وثائق تصميم فئة التصميم ، وتغييرات التصميم في المستندات الداعمة والاتفاقيات ذات الصلة ، والرسومات المبنية ؛

2 ، المعلومات الفنية للمعدات.

طرق الاختبار وتحديد النتائج

1 、 حجم الهواء أو اختبار سرعة الرياح

(1) أدوات القياس البيئية وأدوات القياس البيئي

مقياس شدة الهواء المكره ، مقياس شدة الكرات الساخن ، Bitou ، مقياس الضغط الدقيق ، غطاء الهواء. درجة الحرارة المحيطة في درجة حرارة الغرفة أو درجة حرارة التصميم.

(2) أخذ عينات من المناطق مع متطلبات التصميم للاختبار.

(3) يجب أولاً تنقية حجم الهواء وسرعة الرياح ، ويجب أن تكون التأثيرات المختلفة في تصميم ظروف الهواء وسرعة الرياح التي تم الحصول عليها.

(1) يجب أن تكون نظام غرفة تنظيف التدفق المضطرب من قيمة حجم الهواء المقاسة أكبر من قيمة حجم الهواء التصميم المعنية ، ولكن لا ينبغي أن تتجاوز 20 ٪. يجب أن لا يتجاوز حجم الهواء الجديد المقيس وتصميم الفرق بين حجم الهواء الجديد تصميم حجم الهواء الجديد بنسبة ± 10 ٪. يجب ألا يتجاوز حجم الهواء الداخلي لكل منفذ هواء وفرق حجم الهواء التصميم الخاص به ± 15 ٪ من حجم الهواء التصميم.

(2) يجب أن تكون غرفة نظيفة تدفق الصفائح غير الاتجاهية تقاس متوسط ​​سرعة الهواء الداخلي أكبر من سرعة تصميم الهواء ، ولكن لا ينبغي أن تتجاوز 20 ٪. يجب أن لا يتجاوز إجمالي حجم الهواء النقي المقاس وتصميم اختلاف حجم الهواء الجديد تصميم حجم الهواء الجديد بنسبة ± 10 ٪.

2 ، اختبار فرق الضغط الثابت الداخلي

(1) الأدوات والمعدات وأدوات القياس البيئي تميل مقياس مقياس الدقيقة ، مقياس مقياس الدقيقة الرقمية ، إلخ. درجة الحرارة المحيطة في درجة حرارة الغرفة أو درجة حرارة التصميم.

(2) أخذ عينات من مختلف المناطق المجاورة مع متطلبات التصميم لتنفيذ الاختبار.

(3) المتطلبات الفنية يجب أن تكون نتائج اختبار الفرق الثابتة متسقة مع الأحكام التالية

(1) بين الغرف النظيفة المجاورة ذات المستويات المختلفة والغرف النظيفة والغرف غير النسيلة بين اختلاف الضغط الثابت لا ينبغي أن يكون أقل من 5pa.

2) يجب أن يكون الفرق في الغرفة النظيفة والضغط الثابت في الهواء الطلق أكبر من 10pa.

(3) النظافة التي يزيد عن 100 مستوى من مستوى التدفق الصفحي للتدفق غير الاتجاهي في حالة الباب المفتوح عند مدخل وخروج الجانب الداخلي من 0.6 متر أكثر من الحد الأعلى لتركيز المستوى الداخلي.

3 、 تسرب مرشح الهواء

(1) الأدوات وأدوات القياس البيئي عداد جسيمات الغبار ، مولد الهباء الجوي. درجة الحرارة المحيطة في درجة حرارة الغرفة أو درجة حرارة التصميم.

(2) يجب أن يُطلب من أخذ عينات من هيئة مرشح عالية الكفاءة قبل الدخول إلى الشركة المصنعة للموقع إجراء اختبارات الأداء وتوفير شهادات الامتثال. يجب اختبار مرشحات الهواء عالية الكفاءة المثبتة في غرفة نظيفة التدفق أحادي الاتجاه لتسرب واحد تلو الآخر.

(3) عملية التشغيل وتحديد تسرب المرشح هو تركيب اختبار تسرب مرشح الهواء المكتمل ينطبق على الحالة الفارغة أو الغرفة النظيفة الثابتة. لتركيب مرشحات عالية الكفاءة مثبتة في نهاية الإمداد والهواء العادم لتطبيق طريقة المسح للترشيح ، وتثبيت الحدود وطريقة مسح تسرب المقطع العرضي الكامل لطريقة كاشف التسرب وحجم أخذ العينات من ما لا يقل عن 1L/دقيقة من طريقة عداد الجسيمات اثنين. هنا يتم استخدام طريقة عداد الجسيمات للكشف عن التسرب.

(1) يجب أن يكون المرشح الذي تم تفتيشه قياس حجم الهواء في سرعة الهواء التصميم بين 80 ٪ ~ 120 ٪ من العملية.

(2) يتم استخدام عداد الجسيمات للتحقق من تسرب مرشحات عالية الكفاءة.

يجب إدخال جانبها في اتجاه الريح إلى تركيز موحد من الغبار في الغلاف الجوي أو هواء غبار الهباء الجوي. يجب أن يكون تركيز جزيئات الغبار أكبر من أو يساوي 0.5μm أكبر من أو يساوي 3.5 × 105pc/m3 ؛ أو يجب أن يكون تركيز جزيئات الغبار أكبر من أو يساوي 0.1μm أكبر من أو يساوي 3.5 × 107pc/m3 إذا كان اكتشاف مرشحات عالية الكفاءة من الفئة D أكبر من أو تساوي تركيز جسيمات الغبار 0.1 ميكرومتر أكبر من أو يساوي 3.5 × 109pc/m3.

(3) سيتم وضع اكتشاف التسرب في منفذ أخذ العينات على مسافة 2 ~ 3 سم من سطح المرشح الذي يتم فحصه بسرعة 5 ~ 20mm/s لتحريك القسم بأكمله من المرشح الذي يتم تفتيشه ، غراء الرأس ، إطار القالب التثبيت وتثبيت الإطار عند المسح. أثناء عملية المسح ، يجب أن يتم تحديد الأجزاء التي يزيد فيها الزيادة فجأة في ظاهرة التسرب ، على سبيل المثال ، يجب أن يتم تصحيح التسرب بمطاط السيليكون أو يجب استبدال مرشح عالية الكفاءة.